有機廢氣的凈化處理方法主要有吸附、催化燃燒、直接燃燒、濃縮燃燒等。因有機廢氣具有易燃易爆特性，在凈化處理過程中應控制廢氣濃度不超過爆炸下限的25%，系統(tǒng)中還應設(shè)有阻火器、爆破板等應急裝置。
燃燒法
燃燒法根據(jù)廢氣中可燃有機物濃度高低可分別采用直接燃燒法或熱力燃燒法。
(1) 直接燃燒法當尾氣或廢氣中有機物濃度足夠高，可以靠廢氣中有機物燃燒所放出的熱量維持燃燒不斷進行時，可采用直接燃燒法處理廢氣。直接燃燒法中．廢氣中有機物作為燃料被處理掉，燃燒的最終產(chǎn)物是CO2、H2O和N2。
直接燃燒法所用的燃燒設(shè)備可以是工業(yè)用和民用燃燒爐，如鍋爐或家庭爐灶；也可以是專用的火炬燃燒器。當將尾氣作為民用爐灶燃料時，必須配置尾氣氣柜，以保持尾氣產(chǎn)生量與處理量之間的平衡。當采用火炬燃燒器處理有機廢氣時，火炬燃燒器應專門設(shè)計，以保證在有機廢氣氣量或有機物發(fā)生波動時，火炬燃燒器都能將廢氣中有機物基本燃燒完全。
(2) 熱力燃燒法當廢氣中呵燃有機物的含量較低，廢氣本身不能燃燒，或廢氣中可燃組分燃燒時放出的熱量不能維持燃燒不斷進行，需另加燃料維持燃燒時，稱為熱力燃燒，熱力燃燒時廢氣中的有機物起輔助燃料的作用，同時也是被處理的對象。
在熱力燃燒法中．首先是另加的燃料燃燒以提供熱量，然后是含有機物的廢氣與高溫燃氣相混合達到有機物的燃燒溫度引發(fā)廢氣中有機物的燃燒，在這一溫度下保持廢氣有足夠的停留時間，使廢氣中的有機物充分燃燒分解，生成無害的CO2和H2O。熱力燃燒可在普通的鍋爐或燃燒爐中進行，也可在專用的熱力燃燒爐中進行。
在使用普通鍋爐或燃燒爐進行熱力燃燒時應注意以下條件：
① 廢氣中不應含無機煙塵等不可燃組分，這些不可燃組分有可能在傳熱面上沉積從而降低效率并增加動力消耗。
② 廢氣中的含氧量應與鍋爐燃燒的需氧量相適應，以保證充分燃燒，否則燃燒不完全形成的焦油等大分子量有機物會黏附到傳熱面上降低熱效率。
專用的熱力燃燒爐應保證獲得760℃以上的溫度和0.5s左右的接觸時間，以保證將有機污染物完全燃燒，熱力燃燒爐由燃燒器和燃燒室組成，可根據(jù)燃燒器的種類分為配焰燃燒爐和離焰燃燒爐。
催化燃燒法
催化燃燒法是在催化劑的作用下將廢氣中的有機污染物完全氧化成CO2和H2O。催化燃燒法的起燃溫度低，安全性能好，對需凈化有機物的濃度限制小，這使催化燃燒法較多應用于低濃度有機污染物的處理，但廢氣中的塵粒和霧滴有可能使催化劑壽命降低，因而催化燃燒法不宜于處理含塵粒和霧滴的有機廢氣。
(1) 催化燃燒催化劑催化燃燒的催化劑有貴金屬催化劑、非貴金屬催化劑和稀土金屬催化劑，通常將催化劑的活性組分載到載體上制成粒狀或蜂窩狀使用。
(2) 催化燃燒法的流程與設(shè)備
催化燃燒法的流程具有以下特點：
① 進入催化燃燒裝置的氣體首先要經(jīng)過預處理，除去粉塵、液滴及有害組分，避免催化劑床層的堵塞和催化劑的中毒。
② 進入催化劑床層的氣體溫度必須要達到所用催化劑的起燃溫度，催化反應才能進行。因此對于低于起燃溫度的進氣，必須進行預熱使其達到起燃溫度。特別是開車時，對冷進氣須進行預熱，因而催化燃燒法適用于處理連續(xù)排出的有機廢氣。
③ 催化燃燒有機廢氣會產(chǎn)生一定量的反應熱，在產(chǎn)生熱量大時，應注意回收反應熱。